干式螺杆真空泵

干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。

螺杆泵应用

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

干式螺杆真空泵应用案例图片_溶剂回收系统图

我国螺杆泵发展现状

真空泵是一个量大面广的产品，产量很大，产值不高，但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。目前国外制药精细化工行业干式螺杆真空泵占全部真空泵的60%左右，目前国内在此行业只占到10%-20%，而且随着环保形势的严峻化，这一比例还在不断上升。通过对全球真空泵市场的分析我们可以看出，各类真空泵的市场及应用领域都在不断变化和发展。我国真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础，国产真空泵已经在各个不同领域得到应用并经过验证有些泵还出口国外得到国外用户的认可并受到好评应该说我国真空泵制造业在国内外市场仍然有着巨大的发展空间。

液环泵

虽然液环泵属于粗真空泵，但在我国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场。在国外液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%，仅次于干泵。由于液环泵大部分是铸件加工要求也不高属劳动密集型产品所以国产液环泵在价格上有竞争优势。

干泵

国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、制药、薄膜产业的迅速发展。在日本半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。据统计目前国产干式螺杆真空泵的应用占比大约在10%-20%，随着我国环保形势日趋严峻，这一比例将在新建项目中将不断扩大。从沃尔姆干式螺杆真空泵的每年销售数量上看，一直处于增长上升中。

干式真空泵优点

除上图中所列举的优势外，螺杆真空泵工作过程不产生污水，更加符合国家环保需求，同时螺杆泵受环境和水温影响较小，相比于水环真空泵，螺杆真空泵的缺点是精度高，加工难度大，对于加工设备的精度需求更加依赖。

干式螺杆泵与液环泵性能对比●螺杆泵与液环泵的经济性对比

除上图中所列举的优势外，螺杆真空泵工作过程不产生污水，更加符合国家环保需求，同时螺杆泵受环境和水温影响较小，相比于水环真空泵，螺杆真空泵的缺点是精度高，加工难度大，对于加工设备的精度需求更加依赖。